Структура п'єзорезистичного датчика

У цьому датчику смуга резистора інтегрується на монокристалічну діафрагму кремнію за допомогою процесу інтеграції, щоб зробити кремній п'єзорезистивну мікросхему, а периферію цього мікросхеми нерухомо упаковано в оболонку, а електроди ведучі виводяться. П'єзорезистивний датчик тиску, також відомий як твердий датчик тиску, відрізняється від клейового штаму, який повинен відчути зовнішню силу опосередковано через еластичні чутливі елементи, але безпосередньо відчуває вимірюваний тиск через діафрагму кремнію.

Одна сторона діафрагми кремнію-це порожнина високого тиску, що спілкується з вимірюваним тиском, а інша сторона-порожнина низького тиску, що спілкується з атмосферою. Як правило, кремнієва діафрагма розроблена як коло з фіксованою периферією, а відношення діаметра до товщини становить приблизно 20 ~ 60. Чотири смужки опору для проти захворювань на локально на круглої діафрагми кремнію та з'єднані в повному мосту, два з яких перебувають у сутичці стиснення, а інші - в зоні напруги, що стосуються центри.

Крім того, є також квадратний датчик діафрагми кремнію та стовпчик кремнію. Силіконовий циліндричний датчик також виготовлений з резистивних смужок дифузією в певному напрямку кристалічної площини кремнієвого циліндра, і два резистивні смуги напруги на розрив та два резистивні смуги стискаючого напруги утворюють повний міст.

П'єзорезистивний датчик - це пристрій, що здійснюється дифузійною стійкістю на субстрат напівпровідникового матеріалу відповідно до п'єзорезистичного ефекту напівпровідникового матеріалу. Його підкладка може бути безпосередньо використовується як вимірюючий датчик, а дифузійний опір з'єднаний у підкладці у вигляді мосту.

Коли підкладка деформується зовнішньою силою, значення опору змінюватимуться, а міст призведе до відповідного незбалансованого виходу. Субстрати (або діафрагми), які використовуються як п'єзорезистичні датчики, - це в основному вафлі кремнію та германієві вафлі. Кремнієві п'єзорезистичні датчики, виготовлені з кремнієвих вафель, як чутливі матеріали привернули все більше уваги, особливо твердотільні п'єзорезистичні датчики для вимірювання тиску та швидкості є найбільш широко використовуваними.