Однокристальний вакуумний генератор CTA(B)-A з двома вимірювальними портами

Основні фактори, що впливають на роботу вакуумного генератора

1 Довжина дифузійної труби повинна забезпечувати повний розвиток різних хвильових систем на виході з сопла, щоб можна було отримати приблизно рівномірний потік на вихідній ділянці дифузійної труби. Однак, якщо труба занадто довга, втрати на тертя стінки труби збільшаться. Розумним для звичайного сантехніка є 6-10-кратний діаметр труби. Щоб зменшити втрати енергії, на виході прямої труби дифузійної труби можна додати секцію розширення з кутом розширення 6-8.

2 Час відгуку адсорбції пов’язаний з об’ємом адсорбційної порожнини (включаючи об’єм дифузійної порожнини, адсорбційного трубопроводу, присоски або закритої камери тощо), а витік адсорбційної поверхні пов’язаний з тиском при необхідному всмоктувальний порт. Для певної вимоги до тиску на всмоктувальному отворі, чим менший об’єм адсорбційної порожнини, тим коротший час відгуку; Якщо тиск на вході всмоктування вищий, об’єм адсорбції менший, витік на поверхню менший, а час реакції адсорбції менший. Якщо об'єм адсорбції великий і швидкість адсорбції висока, діаметр сопла генератора вакууму повинен бути більшим.

3 Витрата повітря (л/хв) вакуумного генератора повинна бути зменшена за умови відповідності вимогам використання. Витрата повітря пов'язана з тиском подачі стисненого повітря. Чим більше тиск, тим більше повітря споживає генератор вакууму. Тому слід звернути увагу на взаємозв’язок між тиском подачі та споживанням повітря при визначенні робочого тиску на всмоктувальному отворі. Як правило, тиск у всмоктувальному отворі, створюваний генератором вакууму, становить від 20 до 10 кПа. У цей час, якщо тиск лічильника для постачання Китаю знову збільшиться, тиск у всмоктуючому порту не зменшиться, але споживання газу збільшиться. Тому зниження тиску на всмоктувальному отворі слід розглядати з точки зору контролю витрати.