Зазвичай використовуваний напівпровідниковий датчик тиску використовує кремнієву пластину N-типу як підкладку. По-перше, кремнієва пластина перетворюється на пружну деталь, що несуть навантаження, з певною геометрією. У частині кремнієвої пластини, що несуть напругу, чотири дифузійних резистора Р-типу зроблено вздовж різних напрямків кристала, а потім із цих чотирьох резисторів утворюється міст Уітстона з чотирма плечами. Під дією зовнішньої сили зміни значень опору стають електричними сигналами. Цей міст Уітстона з ефектом тиску є основою датчика тиску, який зазвичай називають п’єзорезистивним мостом (як показано на малюнку 1). Характеристики п'єзорезистивного моста такі: ① значення опору чотирьох плечей мосту рівні (усі r0); ② П’єзорезистивний ефект суміжних плечей моста є рівним за значенням і протилежним за знаком; ③ Температурний коефіцієнт опору чотирьох плечей моста однаковий, і вони завжди мають однакову температуру. На рис. 1, R0 – значення опору без напруги при кімнатній температурі; RT — зміна, викликана температурним коефіцієнтом опору (α) при зміні температури; Υ Rδ – зміна опору, викликана деформацією (ε); Вихідна напруга моста u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (джерело мосту постійного струму).

Де I0 — струм джерела постійного струму, а e — напруга джерела постійної напруги. Вихідна напруга п’єзорезистивного моста прямо пропорційна деформації (ε) і не має нічого спільного з RT, викликаним температурним коефіцієнтом опору, що значно зменшує температурний дрейф датчика. Найбільш широко використовуваним напівпровідниковим датчиком тиску є датчик для визначення тиску рідини. Його основною структурою є капсула з монокристалічного кремнію (як показано на малюнку 2). Діафрагма зроблена у вигляді чашки, а дно чашки є частиною, яка несе зовнішню силу, а міст тиску зроблений на дні чашки. Кільцевий п’єдестал виготовляється з того самого кремнієвого монокристалічного матеріалу, а потім до п’єдесталу прикріплюється діафрагма. Цей датчик тиску має такі переваги, як висока чутливість, малий об’єм і міцність, і широко використовується в авіації, космічній навігації, приладах автоматизації та медичних інструментах.