Зазвичай використовуваний напівпровідниковий датчик тиску використовує кремнієву пластину N-типу як підкладку.По-перше, кремнієва пластина перетворюється на пружну деталь, що несуть навантаження, з певною геометрією.У частині кремнієвої пластини, що несуть напругу, чотири дифузійних резистора Р-типу зроблено вздовж різних напрямків кристала, а потім із цих чотирьох резисторів утворюється міст Уітстона з чотирма плечами.Під дією зовнішньої сили зміни значень опору стають електричними сигналами.Цей міст Уітстона з ефектом тиску є основою датчика тиску, який зазвичай називають п’єзорезистивним мостом (як показано на малюнку 1).Характеристики п'єзорезистивного моста такі: ① значення опору чотирьох плечей моста однакові (всі r0);② П’єзорезистивний ефект суміжних плечей мосту є рівним за значенням і протилежним за знаком;③ Температурний коефіцієнт опору чотирьох плечей моста однаковий, і вони завжди мають однакову температуру.На рис.1, R0 – значення опору без напруги при кімнатній температурі;RT — зміна, викликана температурним коефіцієнтом опору (α) при зміні температури;Υ Rδ – зміна опору, викликана деформацією (ε);Вихідна напруга моста u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (міст джерела постійного струму).

Де I0 — струм джерела постійного струму, а e — напруга джерела постійної напруги.Вихідна напруга п’єзорезистивного моста прямо пропорційна деформації (ε) і не має нічого спільного з RT, викликаним температурним коефіцієнтом опору, що значно зменшує температурний дрейф датчика.Найбільш широко використовуваним напівпровідниковим датчиком тиску є датчик для визначення тиску рідини.Його основною структурою є капсула з монокристалічного кремнію (як показано на малюнку 2).Діафрагма зроблена у вигляді чашки, а дно чашки є частиною, яка несе зовнішню силу, а міст тиску зроблений на дні чашки.Кільцевий п’єдестал виготовляється з того самого кремнієвого монокристалічного матеріалу, а потім до п’єдесталу прикріплюється діафрагма.Цей датчик тиску має такі переваги, як висока чутливість, малий об’єм і міцність, і широко використовується в авіації, космічній навігації, приладах автоматизації та медичних інструментах.