Датчик тиску двигуна 2CP3-68 1946725 для екскаватора Carter

Метод підготовки датчика тиску, що характеризується наступними кроками:

S1, що забезпечує вафель із задньою поверхнею та передньою поверхнею; Утворюючи п'єзорезистичну смужку та сильно допеду контактну область на передній поверхні вафлі; Утворюючи глибоку порожнину тиску шляхом травлення задньої поверхні пластини;

S2, скріплення опорного аркуша на задній частині вафлі;

S3, виготовлення свинцевих отворів та металевих проводів на передній стороні пластини та з'єднання п'єзорезистичних смужок для утворення пшеничного мосту;

S4, відкладення та утворення пасиваційного шару на передній поверхні пластини та відкриваюча частина шару пасивації для утворення області металевої колодки. 2. Метод виготовлення датчика тиску відповідно до претензії 1, де S1 спеціально включає такі кроки: S11: забезпечення пластини з задньою поверхнею та передньою поверхнею та визначаючи товщину чутливої ​​до тиску плівки на пластині; S12: Іонна імплантація використовується на передній поверхні пластини, п'єзорезистичні смужки виготовляються за допомогою високотемпературного дифузійного процесу, а контактні області сильно допитані; S13: відкладення та формування захисного шару на передній поверхні пластини; S14: травлення та формування глибокої порожнини тиску на задній частині пластини, щоб утворити чутливу до тиску плівку. 3. Метод виготовлення датчика тиску відповідно до претензії 1, де пластина є SOI.

У 1962 році Tufte et al. Вперше виготовив п’єзорезистивний датчик тиску з дифузованою кремнієвою п'єзорезистивною смужкою та структурою кремнієвої плівки, і розпочав дослідження п'єорезистичного датчика тиску. Наприкінці 1960 -х та на початку 1970 -х років поява трьох технологій, а саме: кремнієва анізотропна технологія травлення, технологія імплантації іонів та технологія анодного зв'язку, принесли великі зміни в датчик тиску, що відіграло важливу роль у покращенні продуктивності датчика тиску. Починаючи з 1980 -х років, при подальшому розвитку технології мікромашинування, таких як анізотропне травлення, літографія, дифузійне допінг, імплантація іонів, скріплення та покриття, розмір датчика тиску постійно знижується, чутливість покращується, а вихід високий, а продуктивність відмінна. У той же час, розробка та застосування нової технології мікромашина роблять товщину плівки датчика тиску точно контрольованою.