Датчик тиску двигуна 2CP3-68 1946725 до екскаватора Carter

Спосіб виготовлення датчика тиску, який включає наступні етапи:

S1, що забезпечує пластину з задньою поверхнею і передньою поверхнею; Формування п'єзорезистивної смужки та сильно легованої контактної зони на передній поверхні пластини; Формування глибокої порожнини тиску шляхом травлення задньої поверхні пластини;

S2, склеювання опорного листа на тильній стороні пластини;

S3, виготовлення свинцевих отворів і металевих дротів на лицьовій стороні пластини, а також з’єднання п’єзорезистивних смужок для формування моста Вітстона;

S4, осадження та формування пасиваційного шару на передній поверхні пластини та відкриття частини пасиваційного шару для формування металевої зони. 2. Спосіб виготовлення датчика тиску за п. 1, в якому S1, зокрема, містить наступні етапи: S11: забезпечення пластини задньою поверхнею та передньою поверхнею та визначення товщини чутливої ​​до тиску плівки на пластині; S12: використовується іонна імплантація на передній поверхні пластини, п’єзорезистивні смужки виготовляються за допомогою процесу високотемпературної дифузії, а контактні області сильно леговані; S13: нанесення та формування захисного шару на передній поверхні пластини; S14: травлення та формування глибокої порожнини на тильній стороні пластини для формування чутливої ​​до тиску плівки. 3. Спосіб виготовлення датчика тиску за п. 1, в якому пластина є КНІ.

У 1962 році Tufte та ін. вперше виготовив п’єзорезистивний датчик тиску з розсіяними кремнієвими п’єзорезистивними смужками та структурою кремнієвої плівки, а також розпочав дослідження п’єзорезистивного датчика тиску. Наприкінці 1960-х і на початку 1970-х років поява трьох технологій, а саме технології анізотропного травлення кремнію, технології іонної імплантації та технології анодного з’єднання, принесла великі зміни в датчик тиску, що зіграло важливу роль у покращенні продуктивності датчика тиску. . З 1980-х років із подальшим розвитком технологій мікрообробки, таких як анізотропне травлення, літографія, дифузійне легування, іонна імплантація, зв’язування та нанесення покриттів, розмір датчика тиску постійно зменшувався, чутливість була покращена, а вихід був високим і продуктивність відмінна. У той же час розробка та застосування нової технології мікрообробки дозволяють точно контролювати товщину плівки датчика тиску.